半導体材料なら同人産業へ > 取扱商品 > タンタル酸リチウム/LT

タンタル酸リチウム/LT

特殊結晶材料/LT LT(LiTaO3)、タンタル酸リチウム結晶は、非線形光学材料、圧電素子、焦電素子としての特性を持ち、電子工学・核融合など種々の分野で利用される。三方晶系イルメナイト類似構造、融点は約 1,650℃で熱的、化学的に安定な結晶である。単結晶は非線形光学材料としてレーザー媒質として利用されたり、圧電セラミックスとして圧電素子、表面弾性波フィルター等に利用される。

※表面弾性波フィルター(Surface Acoustic Wave Filter、略称SAWフィルター)とは、圧電体の薄膜、もしくは基板上に形成された規則性のあるくし型電極(IDT)により、特定の周波数帯域の電気信号を取り出す素子のことである。くし型電極 (IDT) の構造周期と圧電体や電極の物性により、中心周波数や帯域を決めることができる。

■種類
LT(LiTaO3)、Black LT、SAWグレード、光学用など

■原産地
日本、中国、その他



■LTウエハの基本仕様

項目 3インチ 4インチ 6インチ
直径 Φ76.2±0.3mmΦ100±0.3mmΦ150±0.3mm
面方位 36°Y-cut ±0.2°、42°Y-cut ±0.2 、X-cut ±0.2°
オリフラ 22±2mm32.5±2mm47.5±2mm
2nd オリフラ 10±2mm
厚み 250±20μm、350±20μm、500±20μm、指定可能
表面仕上 CMP研磨
裏面仕上 Lapping
TTV ≤10µm
BOW ≤±25µm

6″LTウェハー、Feドープ 4″LT両面研磨ウェハー、36°Y−cut
6″LTウェハー、Feドープ4″LT両面研磨ウェハー、36°Y−cut