サファイア/SAPPHIRE

サファイア/SAPPHIRE サファイア(Al2O3)は、化学的安定性・熱伝導性・機械的強度に優れ、紫外〜赤外光領域で高い透明性を示す材料として広く用いられています。 同人産業では、主にKyropoulos製法を採用し、単結晶サファイアの成長からスライス、研削・研磨、加工まで一貫して行っています。

■サファイアの特徴

1)
硬度:優れた強度と耐摩耗性、モース硬度9

2)
透明度:紫外〜赤外光領域で高い透過率も持つ(200〜7000nm)

3)
耐腐食性:殆どの酸・アルカリに侵されない

4)
耐熱性:〜2000°C

5)
絶縁性:絶縁体、抵抗率10E14Ω・cm(25°C)

■キロプロス製法の特徴
キロプロス(Kyropoulos)製法、キュロプロス、カイロプロスとも言われています。 サファイア製法には他にも、ベルヌーイ法、CZ法、EFG法、HEM法、CHES法など様々有りますが、弊社ではキロプロス法の高い結晶質と生産性を注目し、こちらを主に採用しています。

1)
大型サファイア基板が効率よく得られる

2)
結晶品質が高く、安定的である

3)
生産効率が高い

■用途

1)
基板材料:LEDエピー基板、PSS基板、SOS基板、光デバイス用基板等
2)
各種窓材:光学窓、高温高圧炉覗き窓、半導体製造装置の覗き窓、真空容器窓、クセノンランプ窓、内視鏡窓、時計窓、スマートウォッチカバーガラス、カメラ保護窓など
3)
機械装置開発用:ワイヤソー、ソーワイヤ、ダイヤモンドツール、研削研磨機械、ダイサー、レーザー設備、ロボット等
4)
その他:分析用サファイアセル、療用ウルトラマイクロトーム、液晶プロジェクター用放熱板、モードセレクター、ルビープランジャー、磁気テープクリーナー、絶縁板、熱電保護板、光学用プリズム、レンズ、紡績用ガイド(糸道)、各種軸受、アルミナ蒸着材、アルミナ研磨材など

レッドサファイア
レッドサファイア
グリーンサファイア
グリーンサファイア
ブルーサファイア
ブルーサファイア
イェローサファイア
イェローサファイア

サファイアインゴット/SAPPHIRE INGOT

サファイアインゴット/SAPPHIRE INGOT 同人産業のサファイアインゴットは、中国の自社工場で生産している他、キロプロス製法を中心に世界中の優良メーカーから仕入れています。

■特徴
製法:キロプロス
原料:アルミナ99.996%
直径:Φ1″, Φ1.5″, Φ2″, Φ3″, Φ4″, Φ6″, Φ8″, Φ10″, 特別指定可能
長さ:50〜300mm/本、特別指定可能
欠陥ゾーン:15%以下、特別指定可能
結晶方位:C面(0001)、A面(11-20)、R面(-1012)、M面(10-10)
方位公差:±0.1°
オリフラ:指定可能
受注数量:1本〜
納期:最短3日〜


サファイア結晶方位 サファイア結晶方位 サファイア結晶方位

■各サイズ標準仕様

項目 2 インチ 3 インチ 4 インチ 5 インチ 6 インチ 8 インチ
直径 50.9 ± 0.1mm 76.3 ± 0.1mm 100.1 ± 0.1mm 125.2 ± 0.1mm 150.2 ± 0.1mm 200.2 ± 0.1mm
方位 C ± 0.1 °
オリフラ          A ± 0.2 °
オリフラ長さ 15.5 ± 1mm 21 ± 1mm 30.5 ± 1mm 30.5 ± 1mm 47 ± 1mm
端面角度 90 ± 0.1 °
※上記以外の特殊直径もご指定可能です。
※長さは、基本的に±20%の許容範囲を希望しますが、場合によって特別指定も可能です。

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サファイアウェハー/SAPPHIRE WAFER

サファイアウェハー/SAPPHIRE WAFER 同人産業のサファイアウェハーは、日本国内工場で生産している他、中国、韓国、台湾の優良メーカーにて委託生産しております。

■特徴
直径:Φ1″、Φ1.5″、Φ2″、Φ2.5"、Φ3″、Φ4″、Φ4.5"、Φ5"、Φ6″、Φ8″
   特別指定可能
厚さ:150µm〜3mm、特別指定可能
結晶方位:C面(0001)、A面(11-20)、R面(-1012)、M面(10-10)
方位公差:±0.1°、オフ角指定可能
受注数量:1枚〜
納期:3週間〜、在庫品は即納可能


■各サイズ標準仕様

項目 2 インチ 3 インチ 4 インチ 5 インチ 6 インチ
直径 50.8 ± 0.1mm 76.2 ± 0.1mm 100.0 ± 0.1mm 125 ± 0.1mm 150 ± 0.1mm
厚さ 430 ± 20 µm 550 ± 20 µm 650 ± 20 µm 650 ± 20 µm 1300 ± 20 µm
方位 C 面 off0.2 ± 0.1 °
オリフラ A面 ± 0.2 °
オリフラ長さ 16 ± 1mm 22 ± 1mm 32.5 ± 1mm 32.5 ± 1mm ノッチ
表面仕上 研磨、 Ra ≤ 0.2nm
裏面仕上 ラッピング、Ra ≤ 1.2µm
研磨、 Ra ≤ 0.2nm
TTV ≤ 7 µ m ≤ 7 µ m ≤ 10 µ m ≤ 10 µ m ≤ 15 µ m
BOW ≤ 10 µ m ≤ 10 µ m ≤ 15 µ m ≤ 15 µ m ≤ 20 µ m

8インチサファイア研磨ウェハー 精度測定操作
8inchサファイア研磨ウェハー(Vノッチ)面精度の測定操作

PSS/PATTERNED SAPPHIRE SUBSTRATE

■対応可能サイズ、対応可能数量
Φ2”、Φ4”、Φ6”
25枚〜/Lot
10万枚/月(供給能力)

■パターン例

例1(3x1):
Bottom Width:3.8±0.15μm
Height:2.0±0.15μm
Space:0.2±0.15μm
Pitch:4.0±0.15μm

例2(2x1):
Bottom Width:2.6±0.15μm
Height:1.6±0.15μm
Space:0.4±0.15μm
Pitch:3.0±0.15μm

例3(1.5x1):
Bottom Width:2.3±0.15μm
Height:1.5±0.15μm
Space:0.2±0.15μm
Pitch:2.5±0.15μm

例4(1x1):
Bottom Width:1.8±0.15μm
Height:1.3±0.15μm
Space:0.2±0.15μm
Pitch:2.0±0.15μm

※パターンの幅、高さ、スペース、ピッチ等は指定可能です。

サファイア特殊加工

■加工種類
切断・スライス、研削・研磨、穴あけ・溝加工、面取り、膜付け加工、接着加工


サファイア特殊加工
サファイアΦ6"高精度平面:λ/10 ニュートンフリンジテスト像
Φ270oサファイア窓
Φ270oサファイア窓
サファイア特殊加工
サファイア特殊加工
サファイア特殊加工
サファイア特殊加工