フッ化物／CaF₂・MgF₂｜シリコン・サファイア・SiC・GaNなど半導体材料を加工も含めてご提供します。

フッ化物／CaF₂・MgF₂

フッ化物結晶とは、フッ素を含む化合物結晶である。特に、単結晶は光学材料や薄膜基板として利用されることが多い。例えば、フッ化カルシウム（CaF₂）やフッ化マグネシウム（MgF₂）などが挙げられる。
光学材料としてのフッ化物結晶は、紫外領域から赤外領域まで幅広い波長の光を透過するため、光学部品として広く利用されている。また、薄膜デバイスを形成する際にも、基板として使用される。
高純度なフッ化物結晶は、半導体材料や特殊材料としても利用されてる。フッ化カルシウム (CaF₂)は、蛍石とも呼ばれ、自然界にも多く存在する。フッ化マグネシウム (MgF₂)は、真空紫外領域で高い透過性を示す。フッ化バリウム (BaF₂)は、真空紫外から赤外線までの波長を透過する。他にも、様々なフッ化物結晶がある。
主な製造メーカーは、日本のキャノン、ニコン、応用光研、日本結晶光学などのメーカーと、中国のメーカー等が多数ある。

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  UV級CaF₂インゴット

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  単結晶CaF₂インゴット

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  MgF₂インゴット

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  多結晶LiFインゴット

フッ化カルシウム結晶 CaF₂

• グレード：赤外線、紫外線、DUV
• サイズ：φ2～520mm、最大長さ500mm
• 結晶構造：単結晶、多結晶
• 平面、球面など各種形状のブランク提供可能

フッ化マグネシウム結晶 MgF₂

• グレード：赤外線、紫外線、DUV
• サイズ：φ2.5～200mm
• 結晶構造：単結晶、多結晶
• 平面、球面など各種形状のブランク提供可能

フッ化リチウム結晶LiF

• グレード：紫外線
• サイズ：φ3～200ｍｍ
• 結晶構造：単結晶、多結晶
• 平面、球面など各種形状のブランク提供可能

オプティクス ／ OPTICS

平面（円形・角形）

• 材料：CaF₂、BaF₂、MgF₂、LiF、ZnS、ZnSe、Ge、Si、石英、サファイア
• サイズ：直径1～500mm
• 表面品質：S/Ｄ10-5
• 面精度：1/20波長@633nm
• イオンビーム研磨対応

球面レンズ

• 材料：CaF₂、BaF₂、MgF₂、LiF、ZnS、ZnSe、Ge、Si、石英、サファイア
• サイズ：直径1～500mm
• 表面品質：S/Ｄ10-5
• 面精度：1/20波長@633nm

プリズム

• 材料：CaF₂、BaF₂、MgF₂、LiF、ZnS、ZnSe、Ge、Si、石英、サファイア
• サイズ：直径1～200mm
• 表面品質：S/D 20-10
• 角度精度：＜15″

反射ミラー

• サイズ：直径0.5～500mm
• 表面品質：S/D 40-20
• 面精度：1/10波長@633nm
• 平行度：＜3″

非球面レンズ

• サイズ：直径2～200mm
• 表面品質：S/D 40-20
• 面精度：1/4波長@633nm
• 平行度：＜3″
• SDP加工

シリコンウェハー

• サイズ：2、4、6、8、10 inch
• 種類：DSP、SSP
• 厚さ：275～1000μm
• TTV：＜10μm

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  光学研磨品

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  CaF₂プリズム

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  CaF₂球面レンズ

コーティング ／ COATING

AR

• 波長範囲：DUV、UV、VIS、IR
• 材料：Si、Ge、ZnS、ZnSe、石英、CaF₂、BaF₂、MgF₂…

金属膜コーティング（反射ミラー）

• 材料：金、銀、アルミ
• サイズ：直径5～500mm
• 表面品質：S/D 40-20
• 面精度：1/8波長@633nm
• 平行度：＜3″

DLCコーティング

• Si/Ge基板：BBAR＋DLC 3～5μm
• Ge基板：BBAR＋DLC 8～12μm

フィルター

• ショートパスフィルター
• バンドパスフィルター
• ロングパスフィルター

ビームスプリッター

• R/T比率：30R/70T、40R/60T、50R/50T、60R/40T、70R/30T
• 波長：UV/VIS/NIR

設備

• 分光装置：Agilent Cary-7000、PE-Spectrum 3 Optica、島津UV3600i
• コーティング設備：LEYBOLD-SYRUSpro1350

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  光学コート加工