タンタル酸リチウム/LT
LT(LiTaO3)、タンタル酸リチウム結晶は、非線形光学材料、圧電素子、焦電素子としての特性を持ち、電子工学・核融合など種々の分野で利用されます。三方晶系イルメナイト類似構造、融点は約 1,650℃で熱的、化学的に安定な結晶であります。単結晶は非線形光学材料としてレーザー媒質として利用されたり、圧電セラミックスとして圧電素子、表面弾性波フィルター等に利用されます。
※表面弾性波フィルター(Surface Acoustic Wave Filter、略称SAWフィルター)とは、圧電体の薄膜、もしくは基板上に形成された規則性のあるくし型電極(IDT)により、特定の周波数帯域の電気信号を取り出す素子のことであります。くし型電極(IDT)の構造周期と圧電体や電極の物性により、中心周波数や帯域を決めることができます。
種類
- SAWグレード
- 光学グレード
- Black-LT
- Feドープ Yellow-LT
用途
LT(LiTaO3)、Black LT、SAWグレード、光学用など
原産地
日本、中国、その他
LTウエハの基本仕様
項目 | 3インチ | 4インチ | 6インチ |
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直径 | Φ76.2±0.3mm | Φ100±0.3mm | Φ150±0.3mm |
面方位 | 36°Y-cut ±0.2°、42°Y-cut ±0.2 、X-cut ±0.2° | ||
オリフラ | 22±2mm | 32.5±2mm | 47.5±2mm |
2nd オリフラ | 10±2mm | ||
厚み | 250±20μm、350±20μm、500±20μm、指定可能 | ||
表面仕上 | CMP研磨 | ||
裏面仕上 | Lapping | ||
TTV | ≤10µm | ||
BOW | ≤±25µm |
LT加工
- 特殊厚み加工
- 特殊形状加工
- LT基板の薄化・平坦化研削・研磨加工
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