サファイア｜PRODUCT｜株式会社同人産業｜シリコン・サファイア・SiC・GaNなど半導体材料を加工も含めてご提供します。

サファイア／Sapphire

サファイア（Al2O3）は、化学的安定性・熱伝導性・機械的強度に優れ、紫外～赤外光領域で高い透明性を示す材料として広く用いられています。 同人産業では、主にKyropoulos製法を採用し、単結晶サファイアの成長からスライス、研削・研磨、加工まで一貫して行っています。

サファイアの特徴

1. 硬度：優れた強度と耐摩耗性、モース硬度9
2. 透明度：紫外～赤外光領域で高い透過率も持つ（200～7000nm）
3. 耐腐食性：殆どの酸・アルカリに侵されない
4. 耐熱性：～2000°C
5. 絶縁性：絶縁体、抵抗率10E14Ω・cm（25°C）

キロプロス製法の特徴

キロプロス（Kyropoulos）製法、キュロプロス、カイロプロスとも言われています。 サファイア製法には他にも、ベルヌーイ法、CZ法、EFG法、HEM法、CHES法など様々有りますが、弊社ではキロプロス法の高い結晶質と生産性を注目し、こちらを主に採用しています。

1. 大型サファイア基板が効率よく得られる
2. 結晶品質が高く、安定的である
3. 生産効率が高い

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用途

1. 基板材料：LEDエピー基板、PSS基板、SOS基板、光デバイス用基板、接合ウェハー等
2. 各種窓材：光学窓、高温高圧炉覗き窓、半導体製造装置の覗き窓、真空容器窓、クセノンランプ窓、内視鏡窓、時計窓、スマートウォッチカバーガラス、カメラ保護窓など
3. 機械装置開発用：ワイヤソー、ソーワイヤ、ダイヤモンドツール、研削研磨機械、ダイサー、レーザー設備、ロボット等
4. その他：分析用サファイアセル、療用ウルトラマイクロトーム、液晶プロジェクター用放熱板、モードセレクター、ルビープランジャー、磁気テープクリーナー、絶縁板、熱電保護板、光学用プリズム、レンズ、紡績用ガイド（糸道）、各種軸受、アルミナ蒸着材、アルミナ研磨材など

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サファイアインゴット／Sapphire Ingot

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各サイズ標準仕様

※上記以外の特殊直径もご指定可能です。
※長さは、基本的に±20%の許容範囲を希望しますが、場合によって特別指定も可能です。

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サファイアウェハー／Sapphire Wafer

同人産業のサファイアウェハーは、日本国内工場で生産している他、中国、韓国、台湾の優良メーカーにて委託生産しております。

特徴

• 直径：Φ1"、Φ1.5"、Φ2"、Φ2.5"、Φ3"、Φ4"、Φ4.5"、Φ5"、Φ6"、Φ8"　特別指定可能
• 厚さ：150μm～3mm、特別指定可能
• 結晶方位：C面（0001）、A面（11-20）、R面（-1012）、M面（10-10）
• 方位公差：±0.1°、オフ角指定可能
• 受注数量：1枚～
• 納期：3週間～、在庫品は即納可能

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各サイズ標準仕様

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  8inchサファイア研磨ウェハー
  （Vノッチ）

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  面精度の測定操作

PSS／PATTERNED SAPPHIRE SUBSTRATE

対応可能サイズ、対応可能数量

Φ2"、Φ4"、Φ6"
25枚～／Lot
10万枚／月（供給能力）

パターン例

例（2x1）：
Bottom Width：2.8±0.15μm
Height：1.8±0.15μm
Pitch：3.0±0.1μm

サファイア特殊加工

加工種類

切断・スライス、研削・研磨、穴あけ・溝加工、面取り、膜付け加工、接着加工

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  Φ270㎜サファイア窓

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  サファイア加工品

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  サファイア特殊加工

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  サファイア特殊加工

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  サファイア細棒

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  6面鏡面研磨品

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  サファイア微細加工品

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  サファイアボール