ワイヤソー装置／Wire Saw Machine
同人産業では、最先端のマルチワイヤソーおよびシングルワイヤソーをご提供しております。高精度・高効率な切断技術により、半導体・電子部品・新素材分野など、多岐にわたるニーズにお応えします。
弊社ワイヤソー機械の特徴
【堅牢な構造】
- 鋳鉄製フレームで振動吸収性と安定性に優れ、高速動作時に安定。
【高精度切断】
- 強化ワークローラ―構造で切断精度向上。
- SIEMENSサーボモーターを採用。
- 日本国内での多数の納品実績。
【操作性・効率性】
- コンパクト設計で操作が簡単。
- ガイドプーリー数が少なく、ワイヤー交換が容易。
- スライド式ワークテーブルで作業効率向上。
【高品質部品】
- 主要コンポーネントは信頼性が高いメーカー品を厳密選定。
マルチワイヤソー（Multi-Wire Saw）
複数のワイヤーをワークローラ―に巻き付け、同時に高速走行させながら、半導体基板などの結晶材料、石英、セラミックス、磁性材料などの被加工物を、高精度かつ低損失で一気に切断する切断装置である。
特徴
- 高効率切断：複数枚のウエハや基板を一括加工
- 均一な切断品質：自動張力制御・高剛性設計により、切断面のばらつきを抑制
- 高精度制御：厚み精度±10μm以内の実績
- 対応素材が広い：シリコン、SiC、サファイア、石英ガラス、磁性材料、セラミックス、金属、石材など
- メンテナンス性にも配慮：装置構造がシンプルで保守が容易
主な装置仕様
YBDX7050/YBDX6050-Ⅲ/YBDX5056ZS-Ⅲ/YBDX3050/YBDX2260
| YBDX7050 | YBDX6050 -Ⅲ |
YBDX5056ZS ‐Ⅲ |
YBDX3050 | YBDX2260 | |
| ワークサイズ （幅x高さx長さ）mm |
700x700x500 | 600x600x500 | 560x560x500 | 300x700x500 |
四角： 135x135x600 丸： Φ160×600 |
| 厚さ mm | 1.5-30 | 0.55-15 | 0.5-8 | ||
| ワイヤー走行速度 （m/min） |
最高1100 | 最高1800 | 最高1000 | 最高1800 | 最高1800 |
| 最大貯線量（km） | 50 （ワイヤー径0.25mm） |
30 （ワイヤー径0.25mm） |
|||
| ワイヤー径 （mm） |
0.13-0.37 | 0.25-0.37 | 0.25-0.37 | 0.12-0.25 | 0.12-0.25 |
| 総定格電力 （kW） |
63.6 | 77.6 | 63.2 | 80 | 83.5 |
| 全体重量 （kg） |
12500 | 14000 | 9000 | 10000 | 9500 |
| 本体寸法 （横×縦× 高さ mm） |
2580×2845×3670 | 2740×3790×3940 | 2300×2600×3300 | 2380×3510×3470 | 2210×3670×2640 |
シングルワイヤソー（Single-Wire Saw）
一本のダイヤモンドワイヤーで高精度に被加工物をスライス加工するモデルで、インゴット切断、試作開発や多品種小ロット生産に特化しています。
特徴
- 柔軟な対応力：様々なサイズ・形状の材料に対応
- 高精度切断：薄板や不規則形状のサンプルでも優れた仕上がり
- コンパクト設計：省スペース設計でラボ導入にも最適
- 多段階速度制御：切断条件の細かな調整が可能
主な装置仕様
XQ1200/XQ1000/XQ8080/XQ6060S/XQ4040
| 項目 | 単位 | XQ1200 | XQ1000 | XQ8080 | XQ6060S | XQ4040 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 最大加工サイズ | mm | 1200×1200 x600 |
1000×1000 ×600 |
800×800 x600 |
600×600 x600 |
400×400 x400 |
|||
| 作業台のスライド移動量 | mm | 600 | 400 | ||||||
| 切断速度 | mm/H | 0-999 | |||||||
| ワイヤー走行速度 | m/ min |
1200(max) | |||||||
| ワイヤー径 | mm | 0.25-0.5 | 0.25-0.37 | ||||||
| 貯線量/リール | km | 20（Φ0.45ワイヤー径） | |||||||
| 揺動角度 | 度 | ±10度 | ±15度 | ||||||
| 電源 | 三相四線AC380V/50Hz | ||||||||
| 総定格電力 | kW | ≤33 | ≤26 | ≤26 | ≤26 | ≤22 | |||
| 外形寸法 | ㎜ | 4000×2900 x3000 |
3250×2500 x2950 |
3050×2500 x2700 |
2200×2700 ｘ2400 |
1900×1800 x1900 |
|||
| 本体重量 | Kg | 約10000 | 約7500 | 約7000 | 約5700 | 約1600 | |||
カスタマイズ・サポート体制
お客様の材料・用途に応じた仕様選定・治具設計も対応可能です。
導入前テストカットや、アフターサービスも充実しておりますので、ぜひ一度お問い合わせください。
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